作者：李兵,孙彬,陈磊,魏翔 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2015年第07期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2015070180 DOC编号：DOCGXJM2015070189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象，研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差，提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理，分析了激光光路的几何关系，从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后，用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验，并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示，补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一非球面凸透镜进行了实验测量，得到了自由曲面测点倾角的计算方法，并用倾角误差模型修正了测量数据。实验结果表明，量化的倾角误差模型可以将激光位移传感器的测量误差控制到小于10μm，满足激光位移传感器在自由曲面测量中应用的要求。

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