《基于MEMS工艺的新型高线性压力传感器设计》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《一种用于胎压监测的MEMS压力传感器设计》PDF+DOC 无线胎压监测系统是近年来得到高度关注的一种汽车主动安全装置。为对胎压监测系统实现高线性的压力测量，提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板相结合的电容式MEMS压力传感器。该结构改变了经典的两极板接触过程，并在下极板底部中心设置基于深刻蚀工艺的深孔结构，使传感器几乎完全工作在线性区间。针对汽车......
2. 《提高压力传感器过载响应速度的研究》PDF+DOC 介绍了一种提高硅电容压力传感器过载回零响应速度的方法，通过在传感器硅可动极板上设计、制作快速导油微结构，实现了传感器过载回零响应速度的大幅度提升，解决了传感器设计中一项关键技术难题，使硅电容压力传感器真正达到了实用化程度，满足了工业现场的实际使用要求。...
3. 《微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器》PDF+DOC 采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24)，结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。...
4. 《碳化硅高温压力传感器设计及工艺研究》PDF+DOC 碳化硅因其优越的半导体性质和物理性质，在传感器领域具有广阔的应用前景。采用第三代半导体碳化硅材料制备的高温压力传感器可在高温的恶劣环境下表现出极佳的稳定性，实现对压力的准确测量，相关研究工作备受业界关注。针对当前碳化硅传感器研制尚处在初级阶段的现实，介绍几种不同类型的碳化硅压力传感器，并对传感器的设......
5. 《EG&G IC Sensors公司96年向中国重点推广其隔离压力传感器》PDF+DOC 据来自EG＆G的消息，EG＆G IC Sensors准备在1996年向中国市场全面推出其最新设计的不锈钢隔离压力传感器.这是其在1995年9月正式设计完成的。...
6. 《微电子机械系统》PDF+DOC 本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。...
7. 《硅微机械加工光波导压力传感器的设计》PDF+DOC 随着波导材料的研究和进展 ，采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器 ，就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述 ，对它的工艺流程作了详细的描述...
8. 《基于MPXY8300的TPMS传感器设计》PDF+DOC 针对如何提高轮胎压力检测系统(Tire Pressure Monitoring System，TPMS)无线传输效率以及减少TPMS的质量和体积以满足汽车轮胎平衡的问题，给出一种基于高度集成芯片MPXY8300的无线轮胎压力传感器设计方案。阐述了传感器的硬件电路设计和用Smith圆图进行无线发射电路......
9. 《一种结构匹配共形的温度快速补偿海洋光纤光栅压力传感器设计与实现》PDF+DOC 1海洋光纤压力传感器发展现状及趋势近年来，光纤传感技术逐步走向成熟，由于具有监测距离长、测量精度高、长期稳定性好、传感端无电、本征安全、使用寿命长等技术优势，已经在交通、电力、石化、航天、海洋等多个领域广泛应用。尤其在海洋领域，作为光纤传感技术应用纵深拓展的全新领域，已经衍生出越来越多的应用场景，得......
10. 《我国混凝土机械现状与发展趋势》PDF+DOC 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。...