《快响应薄膜式高压锰铜传感器》PDF+DOC
作者:杜晓松,杨邦朝,王卉
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2001年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2001010260
DOC编号:DOCYQXB2001010269
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本文采用磁控溅射技术制作了新型的薄膜式锰铜超高压力传感器 ,获得了 32 ns的快速响应 ,同时 ,研究了传感器的安装方式及绝缘封装层的厚度对传感器响应时间的影响关系
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