作者:杜晓松,郝建德,杨邦朝,周鸿仁 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2001年第S1期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2001S10730 DOC编号:DOCYQXB2001S10739 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《薄膜锰铜计对100GPa动压的测量》PDF+DOC2001年第09期 杨邦朝,杜晓松 《阵列化锰铜高压传感器的研制》PDF+DOC2003年第10期 段建华,杨邦朝,杜晓松,周鸿仁 《薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器》PDF+DOC2000年第01期 杜晓松,杨邦朝,王卉 《阵列式薄膜锰铜传感器的研究》PDF+DOC2005年第04期 滕林,杨邦朝,杜晓松 《锰铜薄膜超高压力传感器研究》PDF+DOC2003年第01期 杜晓松 《快响应薄膜式高压锰铜传感器》PDF+DOC2001年第01期 杜晓松,杨邦朝,王卉 《一种高精度薄膜压力传感器》PDF+DOC1991年第01期 钱俞寿,陈国平,王平 《薄膜传感器的发展和展望》PDF+DOC1990年第02期 张承芬 《热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响》PDF+DOC2006年第09期 杜晓松,杨邦朝,滕林,宋远强,蒋亚东 《超高压力传感器绝缘封装薄膜的工艺研究》PDF+DOC2004年第12期 崔红玲,杨邦朝,杜晓松,滕林,周鸿仁
  • 为拓展锰铜传感器的高压测试上限 ,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装 ,后置式结构 ,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了 40~ 10 7GPa的冲击高压加载 ,试验波形呈现出一理想的平台 ,寿命为 1μs。标定曲线 Px(GPa) =6 .0 371+2 9.819(ΔR/ R0 ) +2 1.5 91(ΔR/ R0 ) 2 - 6 .82 6 7(ΔR/ R0 ) 3近似于一条直线 ,精度达± 3%

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