作者：张德福,葛川,李显凌,倪明阳,郭抗,李朋志 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2015年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2015050030 DOC编号：DOCYQXB2015050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对光学系统中光学元件的高精度位移调节和检测问题，提出一种非接触电容位移传感器的线性度标定方法，搭建了一个运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的标定平台，从测量原理上消除阿贝误差。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理，采用对称平行四边形机构实现微位移调节，基于柔度矩阵法分析了调节机构的输出柔度和行程。试验结果表明，机构的柔度为13.585μm/N，运动行程为543.4μm，分辨率约为10 nm。经过标定补偿计算，传感器的线性度由0.047 14%提高至0.004 84%。该线性度标定方法精度高，标定后的传感器满足精密位移调节机构使用要求。

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