作者:唐军,赵锐,石云波,刘俊 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2012年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2012040140 DOC编号:DOCCGJS2012040149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到有效输出信号。同时,对测试中失效传感器进行了分析,总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。

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