作者： 单位：中国工程物理研究院电子工程研究所 出版：《太赫兹科学与电子信息学报》2015年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXXYD2015030380 DOC编号：DOCXXYD2015030389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能，可优质高产低耗，大大地提高系统的可靠性和智能化功能，已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一，它将对现代电子技术产生十分重要的影响。该技术无论在电子产品，还是在系统装备等很多方面都发挥极其重要作用，并得到电子工程师的高度重视，为此，中国电子学会拟于2015年7月24-26日在北京举办&quot；2015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用

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