作者：张旭辉,徐爱东,卞玉民 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2015年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2015020090 DOC编号：DOCBDTQ2015020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法，可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法，然后介绍了典型测试系统构成和测试结果，并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比，本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015，扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005。结果显示，该方法所得结果具有较好的精度，并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点。该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产，作为检测和筛选的测试手段。

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