作者：卞玉民,郑锋,何洪涛 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2008年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2008080110 DOC编号：DOCBDTQ2008080119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响，建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型，分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系，通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的。根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器，应用有限元仿真软件，对传感器的应力和应变进行了仿真计算，完成传感器结构参数设计；采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺，制作了MEMS压阻加速度传感器。测试结果表明，采用三明治结构封装形式，可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性，为提高传感器性能提供了途径。

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