作者：刘民杰,刘云峰,董景新 单位：中国惯性技术学会 出版：《中国惯性技术学报》2012年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGXJ2012010180 DOC编号：DOCZGXJ2012010189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC2011年第12期 李晶,樊尚春,李成,余朝发 《微电容超声传感器的设计与测试》PDF+DOC2015年第08期 穆林枫,张文栋,何常德,张睿,宋金龙,薛晨阳 《零点增益可调的电容式微传感器》PDF+DOC2000年第07期 许金海,冯勇建,卓勇 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力 《智能电容传感器的开关型电容接口》PDF+DOC1988年第03期 戴克中 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC2005年第02期 樊尚春,肖志敏,张庆荣 《微机械惯性传感器的技术现状及展望》PDF+DOC2003年第05期 刘危,解旭辉,李圣怡 《电容式微机械加速度计系统动态特性研究》PDF+DOC2002年第05期 陈宇晓,文贵印,刘昌孝 《电容式振动传感器谐波失真自检测接口ASIC设计》PDF+DOC2010年第06期 刘晓为,尹亮,陈伟平,王庆一,周治平 《电容式MEMS传感器的PSPICE仿真模型研究》PDF+DOC2010年第12期 龙侃,罗超,郭斌

    • 对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说，寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构，设计实现了电容检测接口ASIC电路，该电路具有对寄生电容不敏感的特点，并在0.35-μm CMOS标准工艺下流片实现。基于流片得到的电容检测ASIC样片，以梳齿式硅微传感器为敏感元件，采用滞后比例积分调节器，通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明：该闭环微加速度计的灵敏度为650 mV/g，噪声基底为23.17μg Hz。

    📙 相关资料

    1. 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC 谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器，是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状，并对加工工艺进行了总结，讨论了谐振式硅微......
    2. 《微电容超声传感器的设计与测试》PDF+DOC 针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题，采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法，避免了掺杂效应的发生，从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线，分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真，建立了传感器与电路检测的通道，并通过水下测试系统的搭建，对其进行实验验证......
    3. 《零点增益可调的电容式微传感器》PDF+DOC 文中介绍一种可调零点和增益的电容式微型传感器。通过对MOS电流镜电路的深入探讨 ，给出了由MOS电流镜电路组成的零点和增益可调的电容式微型传感器测量电路 ；通过对传感器测量电路的动态过程仿真 ，明确了测量电路的最佳工作频率范围 ；通过对传感器测量电路静态过程的仿真 ，确定了这种测量电路的线性度和增益......
    4. 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC 扼要介绍微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的发展及市场，包括微陀螺仪、微传感器、微加速度计、微电动机等几种代表性产品的封装技术，目前存在问题和今后的发展方向，并发表了笔者的见解...
    5. 《智能电容传感器的开关型电容接口》PDF+DOC 本文介绍了一个新型的开关电容器接口。它由一个差分积分器和一个A/D转换器组成，能将电容量的变化直接变为二进制的数字量输出。在整个转换过程中，其输出值几乎不受寄生电容、放大器的电压漂移和电路内部各电容器的影响。该开关电容器接口特别适应于各类智能电容传感器。...
    6. 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC 对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。...
    7. 《微机械惯性传感器的技术现状及展望》PDF+DOC 对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现，诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广，而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点，正在全世界范围内被广泛研究。最后，对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨......
    8. 《电容式微机械加速度计系统动态特性研究》PDF+DOC 建立了电容式微机械加速度计闭环系统的二阶近似模型，分析了伺服电路增益和带宽对闭环系统动态特性的影响，提出了调节伺服电路参数来补偿系统动态性能的方法，给出了不同输入条件下系统初始启动稳定时间和输出误差的计算方法。...
    9. 《电容式振动传感器谐波失真自检测接口ASIC设计》PDF+DOC 为实现电容式振动传感器的谐波失真测量，针对电容式振动传感器表头设计出一种开关电容型接口ASIC芯片，采用相同电极分时复用的方法，从而避免电容敏感与静电力反馈的馈通现象.对传感器敏感电容上下极板与中间质量块间的杂散电容导致的谐波失真进行了原理分析，可知传感器二次谐波与寄生电容成正比，三次谐波与寄生电容......
    10. 《电容式MEMS传感器的PSPICE仿真模型研究》PDF+DOC 从电容的精确电学模型出发，根据MEMS电容的特点，建立了MEMS电容的PSPICE模型，对电容式MEMS传感器的机电耦合过程进行了分析，提出了建立其PSPICE仿真模型的一般方法，并以电容式微加速度计为例，介绍其PSPICE仿真模型建立的详细过程，并利用该仿真模型，对其闭环检测电路进行了PSPICE......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。