作者：揣荣岩,孙瑞,刘晓为,王健 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011050090 DOC编号：DOCCGJS2011050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用微机电系统(MEMS)牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小，灵敏度高的优势，但同时也带来了提高过载能力的难题。为此，利用有限元法，对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过这两种分析方法的结合，准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布。在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法，从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180%~220%。

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