作者：李源,栗大超,胡小唐,赵大博,傅星 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2007年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2007010010 DOC编号：DOCNMJM2007010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型，用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算.利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布，分布曲线与理论曲线的偏差小于3.870/0，最大应力的仿真和理论偏差小于3.630/0.通过一个已完成传感器的性能标定，灵敏度的实验和理论误差为7.790/0，实验值线性误差为0.20/0。

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