作者：赵喜清,白璐,张燕,张永聪 单位：中国电子科技集团公司第二研究所 出版：《电子工艺技术》2011年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGY2011020130 DOC编号：DOCDZGY2011020139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种采用激光测距原理实现面与面平行调节的设计方案。将激光传感器搭载在XY运动平台上，这样激光传感器测量就能在两个工作面间移动并测量二者的空间距离。传感器需要移动三个以上的位置，并在每个位置测量两个工作面间的距离，将这些距离值代入到平行调节算法中，得到两个工作面的角度偏差值。最后通过俯仰调节机构旋转这个角度值，最终实现这两个工作面的平行调节。

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