作者：李翔,陈德勇,王军波 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011020000 DOC编号：DOCYBJS2011020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种工作在扭转模态的微机械谐振器，与传统的弯曲模态相比，扭转模态能量损耗低，更适用于液相检测。通过ANSYS仿真优化了结构，针对液相中阻尼较大的特点设计可输出大电流的驱动电路，并根据扭摆的输出与速度相关的特点设计了能量补偿电路，此电路可对能量损失进行有效的补偿，扭摆在液相中的品质因数由2.65提高到了40。

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