作者：王亚强,王跃林,丁纯,喻浩 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1999年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB1999040050 DOC编号：DOCYQXB1999040059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《谐振式硅微传感器闭环系统动态特性影响因素》PDF+DOC2012年第01期 邢维巍,冯晓妍,樊尚春,汤章阳 《双路闭环谐振式微光学陀螺》PDF+DOC2012年第12期 王文怡,王慧泉,陈妍,马慧莲,金仲和 《原油储罐自动脱水技术的选择应用》PDF+DOC2016年第08期 刘贵,郑文晶,盛彬武 《洗衣机谐振式水位传感器特性检测仪的研制》PDF+DOC2000年第03期 孙玉胜 《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC1999年第01期 吴浩扬,李炳乾,朱长纯,刘君华 《一种双功能谐振传感器——谐振式质量流量/密度传感器》PDF+DOC1993年第02期 樊尚春,刘广玉 《硅谐振式钻井液密度传感器》PDF+DOC2001年第02期 宋存,孙继森,张绍明 《微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路》PDF+DOC2011年第11期 尹亮,刘晓为,陈伟平,周治平 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2010年第01期 杨川,郭灿 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC2009年第12期 郭然,陈德勇,王军波

    • 本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性，在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则，研制出闭环恒幅驱动电路，并在微谐振式真空传感器和双框架微谐振陀螺上得到应用。

    📙 相关资料

    1. 《谐振式硅微传感器闭环系统动态特性影响因素》PDF+DOC 动态特性是传感器的一个重要的性能指标。本文分析了基于幅频特性的谐振式硅微压力传感器闭环系统的动态特性及其影响因素，并进行了相应的实验研究。由基于幅频特性的闭环系统内部控制过程得到影响闭环系统动态特性的因素有三个：谐振器固有频率对压力的响应时间；谐振器稳定振动的建立时间；信号处理与数据处理时间。对闭环......
    2. 《双路闭环谐振式微光学陀螺》PDF+DOC 通过建模仿真，从改善陀螺输出带宽以及提高互易性噪声抑制能力出发，对单路闭环谐振式微光学陀螺(R-MOG)和双路闭环R-MOG进行了分析研究。相比于单路闭环R-MOG，双路闭环R-MOG在抑制互易性噪声的同时，能较好地改善输出带宽，并进一步提高陀螺系统的线性度。在此基础上，搭建了双路闭环R-MOG的实......
    3. 《原油储罐自动脱水技术的选择应用》PDF+DOC 通过分析油和水的特性差异以及原油储罐内含水的特性，对目前常用的自动脱水器现状进行分析研究对比，针对原油的特性，建议选择应用液柱谐振式自动脱水器，能够达到自动脱水的要求。...
    4. 《洗衣机谐振式水位传感器特性检测仪的研制》PDF+DOC 研制开发了洗衣机专用谐振式水位传感器特性检测仪.检测仪控制系统选用89C5 1作为MCPU，检测电路主要包括水位高度压力值及谐振频率的测量电路.软件设计采用功能化 模块结构.实际应用表明，该检测仪具有性能稳定，测量快速、准确，省时省力等性能。...
    5. 《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC 从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。...
    6. 《一种双功能谐振传感器——谐振式质量流量/密度传感器》PDF+DOC 详细地讨论了一种双功能谐振式质量流量/密度传感器的测量原理，为我国迅速研制成这种新型的谐振传感器提供了一定的理论依据。...
    7. 《硅谐振式钻井液密度传感器》PDF+DOC 硅谐振式钻井液密度传感器采用单晶硅谐振式差压传感变送器，其核心是由单晶硅谐振式传感器上的两个H形振动梁分别将差压信号转换为频率信号，再将两频率之差直接传递到CPU进行数据处理，经D/A转换器转换为与钻井液密度相对应的4~20mA输出信号，具有高精度、高稳定性、高可靠性，它是钻井液录井过程中理想的检测......
    8. 《微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路》PDF+DOC 为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题，提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频，有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离，同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0.01%，片上集成跨阻放大器可实现1 aF/sqr......
    9. 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器，利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型，通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟，得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数，并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的......
    10. 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm&#215；5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作，可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器，从......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。