作者：宋来 单位：机械部北京机械工业自动化研究所 出版：《制造业自动化》2010年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGY2010040330 DOC编号：DOCJXGY2010040339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍微热板式微气压传感器的工作原理，及基本的特性。同时从影响传感器测试的因素出发，介绍微热板式微气压传感器的方案，及由此采取的测试系统控制策略。将模糊控制理论应用于真空控制，设计了模糊控制器，建立微热板式微气压传感器的自动测控系统，为开展传感器的性能测试提供良好的实验平台。

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