作者：陈涛,金仁成,张凤田,王宏斌 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051480 DOC编号：DOCCGJS2006051489 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试，对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法，对实验进行了建模及MATLAB仿真，并比较了两种算法的控制效果.结果显示，调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小，控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa~100kPa的实时气压控制提供了依据。

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