作者：尹韬,杨海钢,张翀,吴其松,焦继伟,宓斌玮 单位：中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版：《电子与信息学报》2010年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZYX2010010400 DOC编号：DOCDZYX2010010409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端，是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用，提出了一种低噪声电容读出电路，芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f噪声、失调电压以及参考电压失配的影响，提高了读出电路的分辨率和动态范围；提出一种噪声电荷转移的分析方法，用于分析和预测读出电路的噪声性能；建立一种简化的微陀螺传感器仿真模型，用于模拟读出电路对微传感器的响应。读出电路在0.35μm 2P4 M标准CMOS工艺下设计流片，并与微传感器进行了联合应用，芯片面积为2&#215；2.5mm2，在5V电源电压，100kHz的时钟频率下，实现了4aF/Hz的电容分辨率和94dB的动态范围。

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