作者:汤善治,王昭,蒋志雄,郭俊杰 单位:中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版:《光子学报》2010年第S1期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGZXB2010S10050 DOC编号:DOCGZXB2010S10059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 综述了国内、外皮米分辨率测量的研究进展.介绍了高分辨率(皮米级)的测量方法和当前的发展,并对其原理及细分技术作了分析.针对典型测量方法的局限,阐述了另两种新颖的测量方法,并较深入地分析其优势及不足.着重分析了多次反射式光学干涉仪的测量方法,相对于X射线干涉仪,它具有更高的分辨率且其装置较简单,易于实现,在光谱学、高准确度测量等领域的应用前景较好。

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