作者：付敏,彭东林,鲁进,陈锡侯,郑方燕 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2014年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2014040210 DOC编号：DOCGXJM2014040219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了将线阵CCD应用于实际工程的大尺寸位移测量，利用线阵CCD像元空间与输出时间的对应关系，提出了一种差动式测量的线阵CCD位移传感器测量系统。分析了线阵CCD位移测量存在的问题，结合线阵CCD中像元空间与驱动脉冲之间的对应关系，提出一种以时间为参考点的差动式测量方法。该方法用两个空间上对齐、时间上错开半个积分周期的线阵CCD检测透光挡板上等间距分布的透光光线的位置变化；通过计算两个CCD上输出光信号的时间差，用匀速扫描测量原理实现对空间位移的测量。用雷尼绍激光干涉仪对所研制的线阵CCD位移传感器进行了校准，结果显示：在有效测量范围(600.05mm)内，经过修正后的测量误差可控制在&#177；2μm以内，验证了用差动法实现线阵CCD大尺寸精密位移测量的可行性。

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