作者:王庆敏,杨要恩,苏木标,刘玉红 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2009年第10期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2009100070 DOC编号:DOCCGJS2009100079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS加速度传感器噪声分析》PDF+DOC2014年第06期 曲明哲,罗新恒,温瑞智 《基于MEMS传感器的车载组合定位系统设计》PDF+DOC2016年第04期 李鑫,孟翔飞,王燚 《基于微转换器的MEMS传感器研究平台》PDF+DOC2004年第S1期 于婷,周兆英,宋宇宁 《基于MEMS的角位置无线随动控制系统设计》PDF+DOC2013年第09期 任强,周升良,孙玉国 《微机电系统(MEMS)硅压阻式压力传感器分析研究》PDF+DOC2011年第06期 李烨,石鑫 《多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计》PDF+DOC2011年第10期 陈新隽,刘晓平,戴若犁,刘昊扬 《一种MEMS加速度计误差分析与校准方法》PDF+DOC2014年第07期 尹杭,张伟,袁琳峰 《MEMS传感器随机误差分析及处理》PDF+DOC2013年第12期 宋海宾,杨平,徐立波 《基于MEMS的小型姿态检测系统设计》PDF+DOC2013年第10期 刘娜娜 《基于MEMS传感器的输电杆塔倾摆安全监测技术》PDF+DOC2013年第05期 王铁流,沈京,张强永,王瑛
  • 针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟和度均在0.999%F.S以上,灵敏度系数为6.9840με/kN,其重复性误差为1.43%F.S;其动态传感特性与传统的加速度计吻合的很好。

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