作者：毛健,车录锋,林友玲,李玉芳,周晓峰,熊斌,王跃林 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2009年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2009010310 DOC编号：DOCGTDZ2009010319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器》PDF+DOC2008年第02期 徐玮鹤,林友玲,车录锋,李玉芳,熊斌,王跃林 《一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器》PDF+DOC2007年第10期 徐玮鹤,车录锋,李玉芳,熊斌,王跃林 《微硅加速度传感器的发展》PDF+DOC1999年第04期 孟军,茅盘松 《硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究》PDF+DOC1998年第02期 熊幸果,邹强,陆德仁,王渭源 《电容式微加速度传感器控制电路研究》PDF+DOC1997年第01期 陈佳品,吴智政,程君实 《电容传感器设计中的误差修正》PDF+DOC1987年第02期 李福成,王永洪 《一种变面积型差动电容加速度传感器的设计》PDF+DOC2011年第03期 李恒灿,李勇 《促进汽车容性传感器使用的转换器测量方法》PDF+DOC2011年第10期 Conor Power 《一种差动电容式加速度传感器设计的理论研究》PDF+DOC2011年第05期 李恒灿,纪占玲 《低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器阶跃响应特性分析》PDF+DOC2009年第03期 陈金丹,董林玺,颜海霞,霍卫红,李永杰,孙玲玲

    • 提出了一种高对称电容式微加速度传感器，该传感器为硅四层键合三明治结构，在完成传感器整体结构制作的同时，实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法，既精确控制了加速度传感器的初始电容间距，又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz，品质因子为198，灵敏度为0.59V/g。

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