作者：徐延光,马炳和,邓进军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2009年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2009070230 DOC编号：DOCBDTJ2009070239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用Ni材料的高电阻温度系数特性，结合MEMS微加工技术，研究开发了全柔性的Ni基热敏传感器及其阵列。对传感器阵列的材料选择、Ni薄膜电阻的特点以及制备工艺进行了研究。通过油浴升温和电流阶跃响应方法实现了对传感器重要静态、动态参数的测量。实验结果表明，该热敏电阻传感器在5～80℃范围内具有电阻温度系数高、热响应速度快的特点。该柔性传感器阵列可方便贴附于曲型表面，为温度、速度、剪应力等快速分布式低侵入测量提供了新型支持手段。

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