作者:宫经宽,刘樾 单位:北京航空精密机械研究所 出版:《航空精密制造技术》2009年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHJZJ2009060150 DOC编号:DOCHJZJ2009060159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 概述微机电传感器的技术现状和在IESI中的应用。通过国外典型IESI产品,着重分析了IESI的组成原理、性能特点和微机电传感器的作用。研究表明:包括高精度微机电惯性敏感器、微硅压力计在内的微型传感器开发是IESI的技术关键,国产化IESI设备在军/民用飞机中有广泛的应用前景。

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