作者：任卫,马炳和,吕海峰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2009年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2009060120 DOC编号：DOCBDTQ2009060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究。结合有限元分析，掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律，明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系。结合研发实例，利用时域暂态有限元分析，研究了不同厚度的正方形敏感膜片对于正弦、阶跃压力载荷的动态响应情况。研究表明，较小的敏感膜片平面尺寸、较大的膜片厚度有利于获得高的固有频率，从而得到较宽的工作频带、较快的响应速度。

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