作者:贾宏光,光玲玲,MANCEAU Jean-Francois,BASTIEN Francois,刘波 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》2009年第05期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM2009050180 DOC编号:DOCGXJM2009050189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《Lamb波压差式微流量传感器的研究》PDF+DOC2010年第01期 光玲玲,贾宏光 《基于压电纤维传感器的Lamb波传播方向识别》PDF+DOC2020年第04期 王送来,吴万荣,沈意平,李卉,李鸿光 《高精度弓型光纤光栅微位移传感器》PDF+DOC2018年第03期 谭跃刚,陈宇佳,李瑞亚,毛健,刘芹 《具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构》PDF+DOC1998年第03期 庞江涛,战长青,刘理天 《基于圆形压电阵列的主动Lamb波损伤成像监测研究》PDF+DOC2011年第10期 王强,袁慎芳,田峰,江兵 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC2009年第12期 郭然,陈德勇,王军波 《基于Lamb波的材料小范围损伤检测研究》PDF+DOC2015年第12期 江腾,张雪婷,朱永凯 《含压电谱单元及其在板结构中Lamb波传播模拟中的应用》PDF+DOC2014年第03期 冯朝辉,王鑫伟 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC2013年第07期 侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 《压电传感器在Lamb波激励过程中的方向性分析》PDF+DOC2013年第01期 王强,李静,严夏君,王晶
  • 为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双Lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿。对长20 mm,宽1 mm,高50μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.999 9;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627μL/s。

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