作者:徐春晓,房立清,周新伟 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2009年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2009030250 DOC编号:DOCCGQJ2009030259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计了一种耐高温(400℃)、抗过载(20000gn)的SOI微加速度传感器的结构,介绍了传感器的制作工艺,并应用ANSYS软件对其进行了仿真,讨论了传感器的量程、抗冲击能力、灵敏度、横向灵敏度、线性度等各项指标,证明该微传感器满足了设计时所提出的要求。

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