《基于MEMS技术的气体热导传感器的应用研究》PDF+DOC
作者:王浩宇,曹建,安晨光
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2009年第07期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2009070280
DOC编号:DOCCGJS2009070289
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针对传统的气体热导检测器在气体检测应用中存在检测精度差、灵敏度低、温度漂移大的缺点,本设计采用新型的MEMS气体热导传感器,设计了一种高性能的气体浓度检测系统。设计了一种高精度的双恒流源电路对电桥供电,运用微信号检测技术和温度补偿手段,采取模拟滤波和数字滤波相结合的方法,有效的抑制了各种类型的噪声干扰,提高了系统测量的精度与灵敏度,实现了微量气体浓度的准确测量,克服了传统气体热导检测的缺点。
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