作者:张洪泉,范茂军 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2009S10500 DOC编号:DOCYBJS2009S10509 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于催化燃烧式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al_2O_3膜加工成微双桥结构载体,采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻,涂敷Al_2O_3-ZrO-Th0-Pd和Al_2O_3-ZrO-Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成,制作出氢气传感器。测试结果表明:传感器可实现体积分数0~40 000×10~(-6)氢气检测,具有线性输出特性,温度为5~45℃的传感器的最大零点输出优于±1.0%。

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