作者：谷俊涛,张永德,姜金刚,李抒桐 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2014年第02期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2014020160 DOC编号：DOCYQXB2014020169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对传统的催化燃烧式气体传感器因手工制作，造成配对难、一致性差、功耗高、不能互换等问题，基于硅MEMS技术设计并制造了一种集成双桥催化燃烧式酒精气体传感器。通过ANSYS有限元分析方法对传感器的温度场进行分析，采用硅氧化-PECVD-氧化工艺制作三明治结构的SiO2-Si3N2-SiO2微双桥结构载体，湿法腐蚀掉硅形成梁膜结构，减少热功耗。采用薄膜工艺制作铂膜敏感电阻，涂敷纳米Al2O3-ZrO-ThO形成载体，在敏感单元上浸渍pt-pd催化剂溶液，形成催化敏感桥臂，未涂覆催化剂载体构成参比单元，实现在微双桥上的芯片集成，制成传感器。电镜观察了Pt薄膜电阻的线条，能谱分析了载体敏感材料和补偿材料成分。测试结果表明：传感器可实现体积分数0~4 500&#215；10-6酒精检测，具有良好的线性输出特性，温度为-20~+40℃和湿度范围为30%RH~85%RH的传感器的最大零点输出小于&#177；2.0%FS，功耗≤0.2 W，响应恢复时间均在30 s以内。

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