《一种导弹触发引信用微机械惯性敏感装置》PDF+DOC

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3. 《新结构的硅一体化微加速度传感器》PDF+DOC 本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相比具有温度特性好、工艺简单和成品率高等优点。这种结构特别适合制作谐振传感器。...
4. 《微机械和光技术》PDF+DOC 不过分地说，当考虑制作微机械时，如果没有光刻等使用光的微机械加工技术，要实现微机械是不可能的.原来光技术与微机械、微机械加工有着不可分割的联系.近年来，利用光进行的微机械加工，不仅进行图形的缩小投影，而且很容易向微小部分供应加工能量，并且利用光化学反应进行的加工引人注目，这是因为即使容易损坏的灵活微......
5. 《一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化》PDF+DOC 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ，本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果...
6. 《传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响》PDF+DOC 研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低，阻尼小时，冲击加速度的响应波形包含传感器共振波，造成测量干扰。采用有适当阻尼，固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器，进行接近2万g加速度峰值的一系列落杆冲击实验，都未见共振响应。同样的传感器制......
7. 《谐振式微加速度计差频检测电路研究》PDF+DOC 微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰，在传输和处理过程中也不易出现误差。针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器，采用静电激励和电容拾振的检测方式，设计了电容拾振检测电路和差频输出电路，实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测。利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试，实验室测......
8. 《微机械电容式加速度传感器测试电路研究》PDF+DOC 在测量硅微电容式加速度传感器时，由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰，提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况，作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点，并提出了一种微电容检测的改进电路，用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明，微加速度计灵敏度为1.63V/gn，......
9. 《基于加速度传感器MMA8451的振动检测仪设计》PDF+DOC MMA8451是一款低电压供电，电容式微机械全数字式的传感器，可测量三轴方向的加速度。基于这款高性能的传感器，设计出主从式振动检测仪器。文中介绍了整个电路的设计思路与组成结构，给出了作为前端传感器在虚拟仪器中的应用，并且给出了测试结果。使用主从式对虚拟仪器进行设计，实现了预定目标并且摆脱了虚拟仪器开......
10. 《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC 随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大，各种类型的微机械加速度计层出不穷，其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高，其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式，以及近年来成为研究热点的光学式加速度计。本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加......