作者：仇张玥,黄家海,郝惠敏 单位：中国有色金属学会;长沙矿山研究院 出版：《矿业研究与开发》2018年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKYYK2018110230 DOC编号：DOCKYYK2018110239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《薄膜体声波传感器的有限元仿真与分析》PDF+DOC2017年第06期 马晓鑫,苏淑靖,耿子惠,吴永盛 《基于LTCC技术的无源气压传感器研制》PDF+DOC2017年第05期 刘红雨,李姗泽,王颖麟,李俊 《固贴式薄膜体声波传感器的仿真分析》PDF+DOC2019年第01期 吴永盛,苏淑靖,翟成瑞,马晓鑫,袁财源 《一种微带谐振式含水量测量传感器设计》PDF+DOC 郭晨,刘策 《多径衰落信道中多OFC-SAW传感器同时读取算法》PDF+DOC2016年第04期 刘玮峰,邢建春,谢立强 《巧修燃油传感器》PDF+DOC1999年第09期 徐南山 《带反馈分布式不同维传感器状态估计技术》PDF+DOC2003年第06期 何友,熊伟 《一种应用于航空发动机测试的小型磁电式转速传感器》PDF+DOC2016年第04期 顾宝龙,赵振平,何泳,陈浩远,闫旭 《基于最小二乘支持向量机的桥梁应变丢失数据重构》PDF+DOC2010年第08期 黄宴委,吴登国,刘中华,李竣 《平膜压电谐振式结冰传感器信号检测方法》PDF+DOC2006年第04期 张洪,邢科新,张杰,叶林

    • 目前国内的微震监测系统中，由于其基础单元传感器受到结构和检测原理的限制，MEMS加速度传感器普遍基频较高且灵敏度不足，无法对低频微震信号进行有效的采集和监测。在MEMS加速度传感器中，影响其性能的核心部件是传感器中的悬臂敏感结构。设计一种基于单晶硅的低频多弹簧悬臂结构，整体尺寸为25mm&#215；25mm，由中心质量块、对称其分布的7组弹簧结构和框架结构构成。通过Ansys workbench有限元软件对敏感结构建模，并进行静力学及模态仿真分析，仿真结果表明，该结构具有10Hz左右低谐振频率的性能。后期可以将其封装在传感器中进行低频微震信号的监测。

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