作者:吴永盛,苏淑靖,翟成瑞,马晓鑫,袁财源 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2019年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2019010060 DOC编号:DOCYBJS2019010069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对布拉格反射栅的特点,选用ta-C作为高声阻抗材料,Al N作为低声阻抗材料。利用COMSOL Multiphysics对布拉格反射栅薄膜体声波传感器(BAW-SMR)建模并对建立的模型进行固体力学和静电学的有限元仿真分析,得到了传感器的谐振频率、不同布拉格反射栅对数下传感器的导纳特性曲线、阻抗特性曲线以及形变位移图。通过对比分析得出当前条件下布拉格反射栅对数为4对时,传感器的阻抗特性曲线平滑,谐振频率为3. 258 GHz;当布拉格反射栅对数为3对或5对时,阻抗特性曲线存在寄生谐振。针对存在寄生谐振的传感器,选取具有3对布拉格反射栅的传感器进行优化,通过改变传感器上电极的尺寸和厚度来消除寄生谐振,实现了对寄生谐振峰的有效抑制,为进一步的研究提供了理论依据。

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