作者:黄然,李筠,刘猛,李晓兰 单位:重庆市光学机械研究所 出版:《激光杂志》2009年第05期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJGZZ2009050100 DOC编号:DOCJGZZ2009050109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 由于紫外光对硅层的透射深度小于2nm,所以传统的光电探测器件并不响应紫外光。为了增强传统的光电探测器件在紫外波段的探测能力,实用的方法是在传感器光敏面镀上“紫外-可见”变频薄膜,将紫外光转化为可见光。实验用“旋涂法”在石英基底上生成Zn2SiO4Mn紫外探测薄膜,并对其透射光谱、吸收光谱、激发光谱与发射光谱等光学性质进行测量分析。实验测得薄膜在300nm以下透过率极低,在300nm以上透过率很高且平稳;对300nm以下的光具有很强的吸收,对300nm以上的光吸收很弱且很平稳;激发峰在265nm,发射峰在525nm,即能将紫外光转化为可见光。实验结果表明薄膜不仅能将紫外光转化为可见光,实现传统光电探测器件的紫外探测。而且在增强紫外响应的同时不削减其他波段的响应,是一种适用于增强光电图像传感器紫外响应的紫外增强薄膜。

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