作者:王金文,董玉荣 单位:黑龙江大学 出版:《黑龙江大学自然科学学报》2008年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHLDZ2008010090 DOC编号:DOCHLDZ2008010099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究》PDF+DOC1996年第10期 刘沁,吕忠钢,陈艳文 《管座结构设计研究》PDF+DOC2013年第02期 董玉荣,王金文,李宝生 《无引线封装的SOI压阻式压力传感器设计》PDF+DOC2017年第12期 李俊龙,朱平 《多功能压阻式压力传感器的改进》PDF+DOC1993年第06期 李刚 《硅压阻式力敏器件及传感器的稳定性》PDF+DOC1987年第Z1期 王冬梅 《集成压阻压力传感器及其发展》PDF+DOC1982年第04期 毛富民 ,赵广波 《弹性波纹膜片材料的筛选》PDF+DOC1980年第05期 蒋本雨 《MEMS压力传感器原理及其应用》PDF+DOC2012年第S1期 曹乐,樊尚春,邢维巍 《光纤光栅压力传感器的增敏结构设计与实验研究》PDF+DOC2012年第05期 文庆珍,朱金华,李桂年,黄俊斌,余超 《一种新型气压式触觉传感器的研制》PDF+DOC2007年第02期 韩建海,刘跃敏,刘少东,赵书尚
  • 硅压阻式OEM型压力芯体被广泛应用,但该封装结构的传感器在使用时需要二次设计引压接嘴和装配。提出了传感器改变了这一传统设计,将隔离膜片、引压接嘴及基体等一体化焊接,结构简单,装配环节少,成品率高,大大降低了产品的生产成本。试验结果表明:该传感器的性能达到了目前同类产品的水平。给出了该设计的具体结构形式、芯片的选用原则及各主要零部件的设计准则和注意事项。

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