作者：韩锐锐,张兆华,任天令,林惠旺,刘理天 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2012年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2012020070 DOC编号：DOCBDTQ2012020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器，必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法，从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计，在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。实验结果验证了该方法的精确性：传感器样品的灵敏度测试值为42.462～44.460 mV/MPa，与仿真值之间的相对误差控制在3.3%以下，同时得到非线性低于0.16%的良好线性度以满足应用需求。

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