作者：王嘉力,刘宏,姜力,高晓辉 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2008年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2008060050 DOC编号：DOCYBJS2008060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了利用薄膜技术制作的微型六维力/力矩传感器。提出了在传感器弹性体铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺，说明了工艺的实现步骤。实验研究了几种常用的绝缘层材料，并采用Al2O3作为绝缘层材料。通过改进薄膜制作掩模纠正了绝缘层失效的问题。说明了引线键合实现传感器微型化及系统集成。并给出六维力传感器的主要静态精度指标。

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