作者：董林玺,颜海霞,钱忺,孙玲玲 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》2008年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU2008050370 DOC编号：DOCDZXU2008050379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时，研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应，并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明，当传感器为没有静电力反馈的双边电容结构时，梳齿电容的不平行对传感器的响应位移、惯性脉冲响应线性度范围影响明显，且随着封装真空度增加而加重.若传感器有静电力反馈，惯性脉冲响应的灵敏度降低，但DRIE工艺因素的影响程度降低.为了抑制DRIE工艺导致的梳齿电容不平行因素的影响，文中还设计了一个新型的变电容面积的MEMS惯性传感器，并用ANSYS初步分析了其性能，设计了其详细的制作工艺流程。

    📙 相关资料

    1. 《低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器阶跃响应特性分析》PDF+DOC 一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比，具有对梳齿电容不平行敏感度低，可加测试电压高等优点。通过对该传感器在低真空封装条件下的惯性阶跃响应特性分析，着重研究了不同梳齿电容倾斜角度对该传感器的阶跃惯性信号响应的影响，以及不同倾斜角度梳齿的位移响应和测试电压、空气真空度的关系，并......
    2. 《单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统》PDF+DOC 传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路，该套电......
    3. 《一种新型的基于滑膜阻尼的电容式双向MEMS惯性传感器(英文)》PDF+DOC 设计了一个新型的结构完全对称的双向MEMS电容式惯性传感器.该传感器主要由可动质量块、栅形条、支撑梁、连接梁、阻尼调整梳齿组成.设计的结构采用变电容面积的检测方式，在降低空气阻尼的同时也降低了对DRIE工艺的要求，并通过加大测试信号电压来降低电路噪声，从而提高传感器的分辨率.用有限元工具ANSYS详......
    4. 《低迟滞MEMS电容式气压传感器设计》PDF+DOC 针对传感器的机械迟滞问题，提出一种减小迟滞偏移的方法，设计了低迟滞误差的电容式气压传感器。使用ANSYS和FLUENT软件模拟电容式传感器的工作性能，分析传感器的温漂特性、电容灵敏度及加热功率与通孔大小的匹配问题。分析结果表明传感器的电容温漂为0.029 fF/K，电容灵敏度为30 fF/hPa；加......
    5. 《电容式霜露传感器自动化观测对比分析》PDF+DOC 霜露天气现象是气象观测中的重要观测内容，目前对霜露的观测多采用人工观测的方法，存在诸多弊端。本文在对电容式霜露传感器自动化观测原理进行简单介绍的基础上，重点对2014年9月至2014年12月4个月的设备试验数据进行了分析，把设备识别结果、人工观测结果以及标准器识别结果进行比对，结合设备安装地点周围的......
    6. 《片上加热电容式湿度传感器研究》PDF+DOC 提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析，并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下，传感器温度上升约30℃，且温度分布均匀，传感器敏感区域温差&lt；4℃。在加热与不加热条件下，分别对传感器的湿度敏感特性......
    7. 《梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响》PDF+DOC 分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下，梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下，若电容极板的倾斜角变到0.5&#176；时，对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈......
    8. 《基于CVA424的电容式原油含水率传感器的设计》PDF+DOC 本文介绍了基于原油的含水率不同而引起的电容特性差异来进行检测的一种新型电容式含水率传感器。该传感器利用德国AMG公司研制的CAV424电容电压转换芯片，将电容传感器信号转换为差分直流电压，经过A/D转换后送入单片机进行处理，实现对原油含水率的测量。实验结果表明，采用电容式传感器集成信号调理电路使传感......
    9. 《利用系统已有资源,添加电容式触摸按钮或接近传感器》PDF+DOC 本文将讨论利用单片机已有资源，添加电容触摸用户接口的三种方法，以及实现可靠的电容触摸传感所需的一些设计技巧。...
    10. 《MEMS高温接触式电容压力传感器》PDF+DOC 本文介绍了一种用SOI硅片和硅?硅键合MEMS技术制作的高温接触式电容压力传感器，并给出了详细的工艺制作流程。在对测试装置、测试电路进行了详细地介绍和深入分析后，用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试。测试结果表明，传感器在小于250kPa的室温条件下工作，传感器的灵敏度为0.54 mV/kP......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。