作者：苏凤,陈向东,严峻 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2008年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2008020310 DOC编号：DOCYBJS2008020319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 湿度传感器有电阻和电容等类型，由此可以从电阻和电容等方面分析湿度的变化。根据多孔A l2O3电容湿度传感器微观结构，建立了该器件的等效电路模型，利用此模型讨论了孔深和孔径对多孔A l2O3湿度传感器性能的影响。根据孔深孔径的合理取值范围，通过仿真，找出孔高比与面积占空比的最佳值，提高了湿度传感器的灵敏度。

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