作者:刘勇,叶湘滨,熊飞丽,张文娜 单位:中国航天科工集团公司第十七研究所 出版:《计算机仿真》2008年第07期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJSJZ2008070810 DOC编号:DOCJSJZ2008070819 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制,复杂结构的制作存在很多困难,因而为实现高灵敏度压力测量,微谐振式压力传感器的结构设计就显得尤为重要,因此提出一种新型硅岛式谐振梁支撑结构,它利用硅薄膜作为典型的一次敏感元件,并在其上表面中央部位设计了两个硅岛凸起平台,用以固定硅谐振梁,并通过有限元软件ANSYS进行仿真。分析结果表明,在一定量程内,该结构能有效提高谐振梁内的应力放大倍数,进而提高微压力传感器的灵敏度。

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