作者：林丙涛,李海,蒋昭兴,董宏奎,赵建华,张巧云 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2014年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2014020010 DOC编号：DOCYDSG2014020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器，该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系，经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构，并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片，其性能实测值与仿真结果基本吻合，验证了结构及工艺方案的可行性。

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