《基于MEMS技术的介质隔离压力传感器工艺研究》PDF+DOC
作者:郭源生
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2008年第11期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2008110050
DOC编号:DOCYBJS2008110059
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运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺,研制出压力传感器。在腔体内置填充架、充油位置、波纹膜结构等进行了技术创新,使产品的过滤脉冲压力、抗过载和温度系数具有一定的提高。并就创新点对参数影响等特征进行相关论述。
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