作者:吕家云,周晓峰,张健,江涛,刘伟景 单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版:《功能材料与器件学报》2008年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGNCQ2008030160 DOC编号:DOCGNCQ2008030169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《用QCM研究湿度特性的测试系统及纳米ZnO的制备》PDF+DOC2009年第04期 吕家云,张健,蒋全胜,许磊 《用QCM研究HMDS处理纳米ZnO的湿度测试对比》PDF+DOC2009年第08期 吕家云,张健,蒋全胜,许磊 《HMDS改性后的纳米氧化锌的湿度响应特性研究》PDF+DOC2008年第02期 吕家云,张健,周晓峰,刘伟景 《静电纺纳米纤维在QCM液相传感器检测液体中有害物质的研究》PDF+DOC2017年第04期 孙敏 《基于ZnO传感器的高流速气体压力测试》PDF+DOC2012年第09期 曾垂义,张源,徐甲强,陈学东 《一维纳米氧化锌的制备及应用》PDF+DOC2015年第01期 吴迪,王超,王沛芳,敖燕辉 《微波烧结对纳米ZnO气敏元件性能改进研究》PDF+DOC2010年第09期 丁红,柏自奎 《用QCM分析ZnO纳米线在湿度检测中的响应》PDF+DOC2008年第05期 吕家云,张健,周晓峰 《ZnO纳米棒修饰的QCM气体传感器检测NH_3研究》PDF+DOC2014年第04期 张嘉琪,胡馨升,胡发志,齐高璨,袁志好 《类积木状ZnO气体传感器的制备及其气敏特性研究》PDF+DOC2014年第03期 高翻琴,赵振廷,桑胜波,胡杰
  • 采用石英晶体微天平传感器电极上旋涂纳米氧化锌薄膜,构造湿度传感敏感元件,实现对湿度检测。介绍了检测系统的组成,纳米氧化锌的制备。通过DAQ数据采集卡和Labview软件实现数据的实时采集。实验结果表明旋涂纳米氧化锌薄膜的传感器频率随测试的相对湿度变化明显,用纳米氧化锌作为敏感元件检测湿度具有很高的灵敏度和重复性。

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