作者:张嘉琪,胡馨升,胡发志,齐高璨,袁志好 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2014年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2014040040 DOC编号:DOCCGQJ2014040049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 主要介绍了ZnO纳米棒修饰的石英晶体微天平(QCM)气体传感器的制备与测试。采用两步法在石英晶振片表面制备直径为100 nm的ZnO纳米棒敏感膜,构成QCM NH3传感器。检测系统为自主研发的基于LabVIEW平台的QCM气体传感器频率测试软件。检测NH3的体积分数为5×10-6~50×10-6,响应时间均在10 s以内,最大频差值为10.9 Hz,响应最大频差值与NH3体积分数呈现良好的线性关系。室温条件下,ZnO纳米棒敏感膜可以完全实现吸附解吸过程,具有可逆性。该传感器性能稳定,响应灵敏,具有重复性。

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