作者:郭庆鼎,赵希梅 单位:东方国际科技传媒有限公司 出版:《智能机器人》2008年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSFKZ2008030290 DOC编号:DOCSFKZ2008030299 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 3.5光栅光栅是利用光的反射、透射和干涉现象制成的一种光电检测装置,有物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线比较细密,两刻线之间距离(称为栅距)在0.002~0.005mm 之间,它通常用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅刻线较粗,栅距在0.004~0.025mm 之间,在数字检测系统中,通常用于高精度位移的检测,是数控系统中应用较多的一种检测装置,尤其是在闭环伺服系统

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