作者:宋秀娟,杨传仁,张继华,陈宏伟 单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版:《电子元件与材料》2008年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZAL2008080050 DOC编号:DOCDZAL2008080059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 综述了负温度系数(NTC)热敏薄膜目前最常用的四种制备工艺,即:蒸发法(evaporation),磁控溅射法(magnetron sputtering),脉冲激光沉积法(PLD)和金属有机物热分解法(MOD),分析了这几种工艺的优缺点及国外的研究进展。并简要介绍了NTC热敏薄膜在传感器等方面的应用和发展前景。

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