作者：郭成锐,林鸣谢 单位：中国电子质量管理协会;信产部第五研究所 出版：《电子质量》2007年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZZN2007090160 DOC编号：DOCDZZN2007090169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理，该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成，压阻薄膜连接组成惠斯登电桥，以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析，以达到优化设计的目的。

    📙 相关资料

    1. 《压阻式MEMS压力传感器的原理与分析》PDF+DOC 介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理，该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成，压阻薄膜连接组成惠斯登电桥，以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件AN- SYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析，以达到优化设计的目的。...
    2. 《基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造》PDF+DOC 设计了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料的E型结构可动膜片微机电系统(MEMS)压阻式压力芯片。E型膜结构与传统C型膜结构相比解决了灵敏度与线性度无法同时满足工程需求的难题。从可动膜片结构设计、关键尺寸计算以及有限元分析等方面考虑，对压力芯片可动膜片进行了结构优化。通过MEMS工艺和薄膜隔离充油工艺，......
    3. 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC 讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法，用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单，改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式。...
    4. 《基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制》PDF+DOC 设计并制备了一种基于SOI(silicon on insulator)材料的MEMS压阻式高温压力敏感芯片。在设计方面，通过理论计算与仿真，对敏感芯片各项参数进行了优化；在工艺方面，设计了基于标准MEMS工艺的制作流程，并创新性地提出了“器件区下沉”工艺步骤，以提高敏感芯片工艺制备的可靠性。采用31......
    5. 《MEMS光纤压力传感器压力膜片的仿真与分析》PDF+DOC 阐述了一种使用周边固定的圆形膜片的反射式强度调制型MEMS光纤压力传感器的工作原理，在现有外界压力下的膜片应力、应变及固有频率公式的基础上，推导了膜片应力、应变和固有频率三者随传感器尺度变化的一般规律.利用有限元分析软件ANSYS对推演出的规律仿真模拟和分析，验证了此规律的正确性和普适性，同时修正分......
    6. 《压力传感器的发展、现状与未来》PDF+DOC 本文通过大量的数据和资料叙述了压力传感器的发展过程、研究现状和发展趋势 ，为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。...
    7. 《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC 本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。...
    8. 《多晶硅压力传感器灵敏温度系数自补偿技术研究》PDF+DOC 介绍了硅压力传感器的灵敏温度系数补偿原理 ，给出了一种在宽温度范围内采用二次补偿灵敏度温度系数的方法 ，实现了宽范围较高的补偿精度。具体方案是把压阻式惠斯登电桥与温度传感器、可微调多晶硅电阻集成在一个芯片上 ，通过优化多晶硅电阻的掺杂浓度和改变激励源的温度特性 ，从而实现对多晶硅压力传感器灵敏温度系......
    9. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    10. 《MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器》PDF+DOC 文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量，并且适合于批量制造......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。