作者：郭成锐,林鸣谢 单位：北京自动测试技术研究所 出版：《电子测试》2007年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDZC2007070200 DOC编号：DOCWDZC2007070209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压阻式MEMS压力传感器的原理与分析》PDF+DOC2007年第09期 郭成锐,林鸣谢 《基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造》PDF+DOC2020年第04期 李闯,赵立波,张磊,涂孝军,章建文 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC2010年第08期 孙小龙 《MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究》PDF+DOC2018年第07期 张加宏,陈剑翔,冒晓莉,李敏,王银 《基于SOI的E型结构MEMS高温压力传感器的设计》PDF+DOC2018年第05期 李鑫,梁庭,赵丹,姚宗,雷程,李旺旺 《高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真》PDF+DOC2018年第01期 李阳,曹民,胡秀娟 《用双桥法减小压阻型传感器的温度漂移》PDF+DOC2005年第06期 鲁百佐,刘志存 《绝缘体上硅高温压力传感器研究》PDF+DOC2004年第02期 张为,姚素英,张生才,赵毅强,张维新 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC2011年第08期 赵锐,石云波,唐军,刘俊 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧

    • 介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理，该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成，压阻薄膜连接组成惠斯登电桥，以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件AN- SYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析，以达到优化设计的目的。

    📙 相关资料

    1. 《压阻式MEMS压力传感器的原理与分析》PDF+DOC 本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理，该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成，压阻薄膜连接组成惠斯登电桥，以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析，以达到优化设计的目的。...
    2. 《基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造》PDF+DOC 设计了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料的E型结构可动膜片微机电系统(MEMS)压阻式压力芯片。E型膜结构与传统C型膜结构相比解决了灵敏度与线性度无法同时满足工程需求的难题。从可动膜片结构设计、关键尺寸计算以及有限元分析等方面考虑，对压力芯片可动膜片进行了结构优化。通过MEMS工艺和薄膜隔离充油工艺，......
    3. 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC 讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法，用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单，改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式。...
    4. 《MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究》PDF+DOC 金属半导体异质混合结构是一种特殊的压阻结构，其具有高于传统MEMS压阻式压力传感器的压阻性能。鉴于此，设计和研究了一种由掺杂单晶硅和金属铝混合形成的MEMS异质结构压力传感器。首先结合理论模型和ANSYS有限元模拟仿真分析了硅铝异质结构传感器的灵敏度特性，然后通过MEMS工艺制作了硅铝异质结构压力传......
    5. 《基于SOI的E型结构MEMS高温压力传感器的设计》PDF+DOC 文中设计了一种基于SOI材料的E型结构MEMS压阻式高温压力敏感芯片。E型结构与传统的C型膜结构相比解决了由于过载压力所导致的传感器灵敏度与线性输出无法同时满足工程需求的问题。在设计方面，先通过经典薄板理论得到敏感C型膜的优化参数，再结合ansys workbench有限元分析软件进而得到E型结构的......
    6. 《高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真》PDF+DOC 针对人工智能领域，研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求，设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器，微机电压力传感器尺寸更小，灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路，电桥的输出电压与应力大小呈线性关系，输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件......
    7. 《用双桥法减小压阻型传感器的温度漂移》PDF+DOC 论述了温度对压力传感器输出灵敏度的影响，为了减小传感器输出的温度漂移，利用双惠斯登电桥方法进行补偿，在300~373 K的温度范围内对传感器进行了测试。结果表明，采用双桥法补偿后，传感器输出的温度漂移可以降低70%以上。...
    8. 《绝缘体上硅高温压力传感器研究》PDF+DOC 采用有限元分析工具ANSYS完成了一种矩形弹性膜绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器的优化设计，制作出样品，并与相同结构、工艺的多晶硅压力传感器进行了对比测试.结果表明：1∶2的膜片宽长比可以使SOI压力传感器的灵敏度达到220mV/MPa，远大于多晶硅压力传感器的灵敏度(约50mV/MPa).此外，......
    9. 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC 针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求，设计了一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器结构双端固支梁-质量块结构，可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰，提高了测量精度。仿真分析表明传感器在敏感轴轴向灵敏度为1.41μV/gn，可实现对150 000 gn的加速度载荷的......
    10. 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作，因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。