作者：刘宇,王宝光,刘健,孙春生 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007070130 DOC编号：DOCCGJS2007070139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种新型电容测微仪.通过测头与测量电路的一体化设计，精缩了仪器体积；采用差动测头结构，减少了由于环境变化引起的测量误差；使用数字信号传输测量结果，增加了信号的传输距离，提高了抗干扰能力.给出了电容量和被测距离之间的非线性关系的直线拟合方法.研究结果表明：有效直径为3 mm的传感器测量范围为&#177；80μm，分辨力达到0.01μm，时间稳定性达到0.01μm/h。

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