作者:许正,李万平 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2006年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2006120100 DOC编号:DOCCGQJ2006120109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测》PDF+DOC2017年第02期 孙海浪,田于逵,金磊,张璇,谢华 《水下MEMS壁面剪应力传感器标定方案仿真分析与实验验证》PDF+DOC2016年第02期 黄欢,孙海浪,田于逵,张楠,谢华,沈雪 《MEMS壁面剪应力传感器阵列水下标定实验研究》PDF+DOC2015年第02期 田于逵,谢华,黄欢,孙海浪,张楠,沈雪 《AlN陶瓷微热板MEMS传感器阵列设计与工艺实现》PDF+DOC2015年第08期 赵文杰,杨守杰,于洋,王向鑫,施云波 《基于MEMS压力传感器阵列的浪涌检测技术研究》PDF+DOC2017年第06期 齐娜,付士民,王世宁,刘兴宇,陈丽洁 《水下平板壁面剪应力MEMS测量研究进展》PDF+DOC2017年第03期 田于逵,张璇,沈雪,孙海浪,谢华,张楠 《微型热式剪应力传感器的热特性建模》PDF+DOC2010年第09期 王竹萍,仲顺安,聂丹丹,刘汝卿 《微型柔性红外传感器的制作研究》PDF+DOC2006年第S1期 王明,陈四海,潘峰,汪殿明,黄光 《MEMS传感器测量平板表面摩擦应力高速风洞试验》PDF+DOC2013年第01期 梁锦敏,李建强,蒋卫民,李春彦,唐淋伟,田军 《MEMS压力传感器现状及其在弹药上的应用》PDF+DOC2013年第02期 姜波,齐杏林,赵志宁,吕静
  • 借助计算流体动力学(CFD)商业软件FLUENT,采用数值模拟的方法,对基于MEMS的壁剪应力传感器热交换效应进行了分析。计算结果表明:在壁剪应力传感器的热膜下方加入真空腔或者空气腔是十分必要的。针对水流中测量的计算结果显示,真空腔和空气腔在整个计算区域的温度场分布以及对流体的传热效率的差别不大,而空腔可以明显地减小底层的热损失,这对提高剪应力传感器的灵敏度是十分有利的。此外,MEMS壁剪应力传感器的尺寸效应对传热效率也存在影响。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。